PSM1000
Le PSM1000 est un microscope prêt pour les OEM qui offre les meilleures performances d'imagerie possibles pour les échantillons plats et réfléchissants. Les pièces métallurgiques ainsi que les semi-conducteurs sont reproduits de manière impressionnante grâce aux objectifs LWD plan-apochromatiques. Le grand champ de vision avec une image droite permet une orientation rapide et une manipulation facile. Chaque position de la tourelle porte-objectifs peut être centrée individuellement. Ainsi, les détails restent parfaitement "dans le champ" lors des changements de grossissement. L'utilisation d'objectifs optionnels avec compensation de la parafocalité évite en outre une nouvelle mise au point. La transmission élevée des objectifs, y compris les lentilles tubulaires pour NUV (355nm) à NIR (1064nm), permet d'intégrer le PSM1000 dans les systèmes d'inspection de wafers. Le faible pas de la mise au point fine permet un réglage très fin du plan focal, même à des grossissements élevés.
Spécifications Système standard :
Concept optique : Optique avec transmission de NUV à NIR
Tube d'observation : Tube trinoculaire, type Siedentopf
Angle d'observation : 30º angle d'observation
Division du faisceau pour le tube trinoculaire : Commutable 50:50/0:100 visuel : Sortie caméra
Distance interoculaire : 55-75mm
Compensation dioptrique : Sur les deux oculaires +/- 5 dpt.
Oculaires : Grand champ WF10X/24mm, avec compensation dioptrique
Tube intermédiaire : Tourelle de lentilles à tube 3x avec 1X UV/VIS (355-532nm), 1X IR/VIS (532-1064nm), 2X
Tourelle d'objectifs : 4x, positions centrées individuellement
Objectifs de qualité : Extra LWD Plan Apochromate
Objectifs/plage de grossissement : En option
Filetage d'objectif : M26X0.706
Type de trépied : Optionnel
Mise au point : coaxial grossier/fin, pas réglable
Incrément de la mise au point fine : 1 μm d'incrément
Plage de déplacement en Z : 50mm
Lumière incidente : port pour couplage d'un éclairage coaxial.
Accessoires fournis : accessoires de sécurité laser, rondelles d'espacement.
Dimensions : LxlxH 333x218x277mm
